Đo nồng độ hóa chất trực tuyến theo thời gian thực: Chuyên dụng cho các quy trình xử lý ướt (wet processes) trong ngành sản xuất bán dẫn.
Thiết kế siêu tinh khiết và nhỏ gọn: Vaisala Polaris™ PR53S là dòng khúc xạ kế trực tuyến siêu tinh khiết, kiểu dáng nhỏ gọn, được thiết kế riêng cho các ứng dụng hóa chất lỏng ngành bán dẫn. Cấu trúc buồng đo lưu lượng (flow cell) bằng nhựa PTFE cải tiến cùng các kết nối dạng cột (pillar) hoặc loe (flare) kích thước ¼–1 inch cho phép tích hợp liền mạch vào các bể xử lý ướt (wet benches), hệ thống phân phối hóa chất và các công cụ quy trình.
Kiểm soát quy trình chặt chẽ: Mẫu PR53S liên tục đo nồng độ hóa chất theo thời gian thực — cả trong môi trường phòng sạch lẫn bên trong các công cụ quy trình tích hợp — giúp duy trì sự kiểm soát quy trình nghiêm ngặt ở mọi giai đoạn.
Thay thế các bộ phân tích phức tạp, đắt tiền: Với phép đo có độ chính xác cao, đáng tin cậy và khả năng lặp lại xuất sắc, PR53S có thể thay thế các hệ thống phân tích phức tạp và tốn kém trong các khâu phân phối số lượng lớn (bulk dispensing), pha trộn và giám sát tại điểm sử dụng chỉ bằng một phép đo chiết suất trực tuyến duy nhất.
Tối ưu hóa cho quy trình hóa chất lỏng và bùn nạo bán dẫn: Được thiết kế chuyên biệt cho các yêu cầu kỹ thuật cao của ngành công nghiệp bán dẫn.
Đo nồng độ trực tuyến liên tục: Giúp kiểm soát quy trình chặt chẽ hơn, giảm thiểu các sai lệch trong vận hành.
Buồng đo bằng nhựa PTFE cải tiến siêu tinh khiết: Thiết kế cực kỳ nhỏ gọn, phù hợp tuyệt đối để tích hợp vào các công cụ quy trình và sử dụng trong phòng sạch mà không gây nhiễm bẩn.
Đo chiết suất chính xác, ổn định và không trôi kết quả: Tích hợp sẵn chức năng bù nhiệt độ tự động để đảm bảo kết quả đầu ra luôn chuẩn xác.
Độ ổn định lâu dài xuất sắc và không có bộ phận chuyển động: Giúp giảm thiểu tối đa nhu cầu bảo trì và tối ưu hóa thời gian hoạt động của hệ thống (high uptime).
Khả năng kết nối linh hoạt: Hoạt động độc lập (standalone) hoặc tích hợp liền mạch với bộ truyền phát Vaisala Indigo520 cũng như thiết bị hiển thị cầm tay Vaisala Indigo80.
Kiểm soát hóa chất nhất quán cho các hỗn hợp hóa chất và chất lỏng đặc phức tạp
Đo lường chính xác trên nhiều loại hóa chất — bao gồm cả các ứng dụng chất lỏng đặc phức tạp. Hiệu suất đáng tin cậy ngay cả khi có bọt khí, hạt hoặc tinh thể đảm bảo dữ liệu ổn định, đáng tin cậy trong các quy trình thực tế.
Lý tưởng cho việc trộn và giám sát hóa chất trong ngành công nghiệp hóa chất tinh chế và bán dẫn, Polaris PR53S được xây dựng dựa trên hơn 40 năm đổi mới từ dòng máy đo khúc xạ quy trình Vaisala K-PATENTS®. Là một phần của thế hệ PR53 mới nhất, nó mang lại độ phân giải nâng cao và khả năng tương thích được cải thiện cho các môi trường quy trình hiện đại.
Thiết bị cầm tay Indigo80 dành cho khúc xạ kế quy trình Vaisala Polaris™
Khám phá sự kết hợp vô song giữa Vaisala Indigo80 và các khúc xạ kế quy trình Polaris™. Với Indigo80 – một màn hình di động tiện lợi, bạn có thể cấu hình và hiệu chuẩn các đầu đo trực tiếp mà không làm gián đoạn quy trình, ghi lại dữ liệu từ từng đầu đo riêng biệt để chẩn đoán lỗi nhanh chóng và dễ dàng xác định các nhu cầu bảo trì tiềm ẩn.
Phần mềm Vaisala Insight trên máy tính
Sử dụng phần mềm Insight miễn phí để truy cập vào thiết bị của bạn ngay từ bàn làm việc, thực hiện hiệu chuẩn mẫu PR53S và tải xuống các đường cong nồng độ hóa chất mới một cách dễ dàng.
